1.设备名称：台阶仪
2.品牌：BRUKER
3.型号：DEKTAK XT
4.技术指标：扫描范围：50µm 至 55mm；最多可达120,000个数据点/扫描
最大样品厚度：50mm
垂直范围：1mm
高度重现性：高度方向的重复性≤0.4nm
垂直分辨率：0.1nm
5.应用场景：台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动，触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。
6.服务项目/测试项目：ETCH刻蚀工艺均匀性测试
薄膜厚度测量和应力计算
光透膜和光阻膜厚度测量
零部件粗糙度测量
7.参考图片：
