1.设备名称：高精密激光跟踪干涉仪
2.品牌：海克斯康
3.型号：ETALON LASER TRACER-NG
4.技术指标：空间位移测量的不确定度（95%）：0.2μm+0.3μm/m
激光频率稳定度24h：
分辨率：0.001μm
测量范围：0.2-20m
角度范围平面轴：-225°to225°
角度范围俯仰轴：-35°to85°
5. 应用场景：激光跟踪干涉仪可以非常快速、简单和准确地校准最高进度的机器，所有的轴的位置、直线度，垂直度，俯仰、偏转和翻滚都可以用亚微米精度来测定，可以有效改善了测量仪器和机床的校准工作。
6.服务项目/测试项目：测量校准机床补偿线性轴、旋转轴几何误差
建立机床监控系统
测量校准补偿空间误差
7.参考图片：
