为完善微观表征样品前处理能力，进一步满足场发射扫描电镜制样需求，研究院公共检测服务平台新增一台磁控溅射镀膜仪。可为绝缘样品提供导电镀膜预处理 + 电镜表征一站式服务，帮助师生获取高清微观形貌数据。现已对院内外同步开放预约。
01 设备型号
设备名称：磁控溅射镀膜仪
设备品牌：北京中科创仪
设备型号：SC200
02 主要配置
（1）靶材：适配 Au、Pt、Cu、Ag、Pd ，规格 Φ50mm、厚 0.1–2mm；
（2）工艺参数：工作电流 1–50mA、镀膜时长 1–9999s 连续可调；
（3）样品承载：Φ80mm 样品台，可放 14 个标准样品座。
03设备主要用途
（1）绝缘样品导电处理：针对陶瓷、高分子、生物组织、矿物粉末、非金属复合材料等各类绝缘样品，通过溅射镀膜工艺消除扫描电镜检测时的荷电干扰，有效提升成像清晰度与稳定性，精准呈现样品微观形貌。
（2）高分辨电镜精密制样：适配纳米材料、二维材料、催化剂等高精度表征需求，可制备平整细腻的薄膜样品，最大程度保留并还原样品原始纳米结构，满足高分辨电镜测试标准。
（3）小型功能薄膜定制研发：支持多品类金属靶材切换，可小规模定制制备导电金属薄膜，适配薄膜电学、光学、催化等领域的基础科研与实验测试需求。
（4）全学科通用制样服务：业务覆盖材料、化工、机械、生物、环境、半导体、失效分析等多学科领域，可针对性完成各类样品的标准化前处理，适配多元科研测试场景。
04 送样要求
样品尺寸：厚度≤20mm，直径＜80mm
05联系我们
固话：0574-27969861
联系人：李老师 手机号13840371596
邮箱：1344069689@qq.com
地址：宁波市江北区海川路181号
