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公共检测服务平台设备介绍(二)——场发射扫描电子显微镜
2026-06-18  点击:[]

从材料科学到生命科学,从半导体工业到新能源研究,有一台仪器堪称“微观世界的超级侦探”,它就是场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)。不管是观察纳米级的材料细节,还是分析生物样本的表面结构,FE-SEM用三点硬核实力,成为科研路上不可替代的“微观利器”!

一、超高分辨率:看清纳米级的“微观细节”

肉眼能看清的最小物体约0.1毫米,普通光学显微镜最多放大几千倍,而FE-SEM就像“微观放大镜PLUS”,分辨率能达到1纳米。简单说:普通钨灯丝扫描电镜(SEM)只能看清“微米级”(头发丝的几百分之一)的结构,而FE-SEM能直接看到纳米级(头发丝的万分之一)的颗粒、裂纹、微小器件电路。不管是锂电池电极的微小裂纹、碳纳米管的精细结构,还是芯片上的纳米级电路缺陷,它都能拍得清清楚楚,这是普通显微镜做不到的。

二、大景深+立体成像:微观世界也有“3D质感”

光学显微镜看稍微凹凸的样品,容易“模糊一片”,只能看清一个平面FE-SEM的大景深是一绝,不管样品表面多粗糙、高低差多大,都能全程清晰成像,自带3D立体感。用它看金属断口、多孔材料,能直观看到立体的断裂纹路和孔隙结构,不用复杂处理就能还原样品真实形貌。这种“立体高清”效果,对分析材料断裂原因、生物表面结构特别关键。




三、样品制备简单+多信号检测:省事又能“一测多获”

FE-SEM对样品特别“友好”:

1. 制备简便:大部分固体样品(金属、陶瓷、高分子等),只要干燥、固定好就能测;不导电样品简单喷层薄金(或用低真空模式)即可,不用像透射电镜那样把样品切成几纳米的薄片,省时又省力。

2. 多信号检测,信息拉满:它不只能看形貌,还能搭配探测器,一次测试拿多种数据:

- 二次电子信号:看表面凹凸形貌;

- 背散射电子信号:区分不同元素的分布(重元素亮、轻元素暗);

- 搭配EDS能谱:直接分析样品的化学元素

- 搭配EBSD分析:材料晶体取向、物相分布、晶粒形貌、晶界特征。

简单说:一台FE-SEM,既能“看长相”(形貌),又能“查成分”(元素),还能“看结构”(晶体取向),一站式解决科研中的微观分析需求,效率直接拉满。


四、设备型号及配置

大连理工大学宁波研究院公共检测服务平台现配备蔡司 Sigma360 场发射扫描电子显微镜,搭载牛津 Ultim Max 能谱仪、牛津 EBSD 电子背散射衍射仪。设备可开展微观形貌观测、EDS 元素分析、EBSD 晶体结构分析及背散射形貌分析等检测项目,目前已全面对外开放,可为院内外各单位提供专业检测服务。

  五、送样要求

样品尺寸:直径≤φ100mm;高度<40mm重量<2Kg;

样品性能:导电;

EDS样品:表面平整光滑,无污染物;

EBSD样品:表面平整光滑,无应力层,机械抛+等离子抛/机械抛+电抛。

  六、联系我们

固话:0574-27969861

联系人:李老师 13840371596

邮箱:1344069689@qq.com

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